Главная / Технологии / Samsung: эффективность EUV-литографии повысят заморозка пластин и низкое давление

Samsung: эффективность EUV-литографии повысят заморозка пластин и низкое давление

Как известно, компания Samsung первой приступила к использованию сканеров диапазона EUV (13,5 нм) для коммерческого выпуска чипов, что произошло примерно год назад. Поэтому можно сказать, что EUV-литография получила путёвку в жизнь, хотя это не избавило её от детских болезней и не обещает быстрое и светлое коммерческое будущее. Проблем с EUV всё ещё много и их необходимо решать параллельно развёртыванию всё новых и новых коммерческих систем. Компания Samsung, как пионер в продвижении этой темы, тщательно анализирует проблемы и ищет пути для их преодоления.

Etnews

На днях на конференции «The Korean Society of Semiconductor & Display Technology» в Университете Ханьян представитель Samsung рассказал о двух серьёзных проблемах, которые пришлось и ещё придётся решать по мере снижения масштаба технологического процесса при выпуске полупроводников. Одна проблема кроется в высокой плотности энергии пучка EUV-излучения, а вторая, связанная с ней ― в невозможности эффективно протравить тончайшие дорожки после обработки пластины и в сложностях с депонированием добавок в предельно узкие канавки цепей в кристаллах.

Высокая удельная плотность энергии EUV-луча ― в 10 раз больше, чем у луча 193-нм лазера ― ведёт к образованию паразитных образований в фоторезисте, что вместе со ставшими более тонкими дорожками приводит к появлению так называемых микромостов. Иначе говоря, возникают непредусмотренные схемой перемычки, которые могут вызвать отказ микросхем. Сегодня компания борется с микромостами с помощью повторяемой кратковременной экспозиции и повторным травлением. При этом удлиняется производственный цикл, что только усугубится после очередного уменьшения масштаба технологических норм. Сканеры EUV ― это дорогие «игрушки» ценой $171 млн за каждую установку. Окупить такую штуку очень тяжело и удлинение технологических циклов этому не будет способствовать.

Вторая проблема при использовании EUV-сканеров связана с уменьшением размеров элементов на кристалле. Канавки для цепей и элементов становятся уже, что затрудняет внесение примесей в полупроводники и даже циркуляцию химических составов в процессе травления. Чтобы протравить канавку, необходимо больше времени, реагентов и защитного покрытия в тех местах, которые не подлежат травлению.

Для преодоления представленных выше препятствий Samsung предлагает сделать две вещи. Во-первых, экстремально снизить рабочую температуру внутри камеры с обрабатываемой пластиной. Во-вторых, значительно понизить давление внутри камеры. Охлаждение до низких температур снизит активность реагентов и даст возможность избежать как появления микромостов (за счёт снижения чувствительности фоторезиста), так и уменьшит нагрузку на защитную полимерную плёнку. Низкое давление в камере вкупе с интенсивной обработкой протравленных зазоров рабочими газами для депонирования усилит циркуляцию материалов в канавках и ускорит циклы травления и депонирования. Но пока это только теория, которую ещё предстоит довести до коммерческой реализации.

Смотрите также

Новая разработка ученых Сколтеха: «электронный нос» и компьютерное зрение помогут определить готовность блюд

Новая разработка ученых Сколтеха: «электронный нос» и компьютерное зрение помогут определить готовность блюд

Исследователи Сколтеха придумали, как с помощью химических сенсоров и компьютерного зрения определить, правильно ли приготовлена, например, курица-гриль. Этим методом смогут воспользоваться повара ресторанов для контроля и автоматизации процессов приготовления пищи. Не исключено, что когда-нибудь такие функции появятся и в домашних «умных» духовках.

Как узнать, готова ли курица-гриль для подачи на стол? Самый простой и привычный для всех способ определить кулинарную готовность – внимательно посмотреть на блюдо и понюхать его. Однако если вы являетесь шеф-поваром в ресторане или на производстве, вы не сможете обеспечить стабильность результата и его соответствие потребительским требованиям, полагаясь только на свое зрение и обоняние. Именно поэтому предприятия ресторанно-гостиничного бизнеса в настоящее время ведут активный поиск экономичных, надежных и высокочувствительных инструментов, в которых на смену субъективной оценке придет автоматизированный контроль качества пищевых продуктов.

Описание результатов исследования опубликованов научном журнале Food Chemistry.

Итак, создан «электронный нос», представляющий собой набор сенсоров, с помощью которых можно регистрировать «профиль» запаха, чтобы «нюхать» курицу в процессе жарки, а также применили алгоритмы компьютерного зрения, чтобы на курицу «смотреть». «Электронный нос» проще и дешевле в эксплуатации, чем, например, дорогостоящий газовый хроматограф или масс-спектрометр. В предшествующих работах другие исследователи уже показали, что «электронный нос» умеет различать сыры по сортам и отбраковывать гнилые яблоки или бананы, а компьютерное зрение позволяет распознавать визуальные структуры, например, растрескавшееся печенье.

Результаты этого проекта и стали основой для эксперимента по составлению «карты» запахов курицы-гриль.

При определении кулинарной готовности полагаться только на «электронный нос» недостаточно, необходимо в дополнение к нему использовать компьютерное зрение. Оба эти инструмента в совокупности образуют так называемую «группу электронных экспертов». В работе участвовали специалисты CDISE, имеющие обширный опыт в области компьютерного зрения.

Исследователи решили объединить эти два способа, чтобы получить точный и бесконтактный метод определения степени готовности блюд. Для этой цели они выбрали популярное во всем мире куриное мясо и приобрели в одном из московских супермаркетов партию куриных грудок. В процессе приготовления курицы-гриль исследователи обучали свои инструменты оценивать и прогнозировать степень готовности блюда.

Исследователи разработали собственный дизайн «электронного носа», состоящий из восьми сенсоров для обнаружения дыма, алкоголя, угарного газа и других соединений, а также датчиков температуры и влажности воздуха. Затем «электронный нос» поместили в систему вентиляции. В процессе жарки курицу фотографировали, а полученную информацию подавали на вход алгоритмов, осуществляющего классификацию или поиск закономерностей в данных. Изменения в составе окружающей среды на разных стадиях процесса жарки также регистрировали при помощи анализа дифференциальной подвижности для измерения размера аэрозольных частиц и метода масс-спектрометрии.

Новая разработка ученых Сколтеха: «электронный нос» и компьютерное зрение помогут определить готовность блюд

Пожалуй, самой важной частью эксперимента стала «дегустация» с участием 16 аспирантов и исследователей, которых попросили оценить нежность, сочность, насыщенность вкуса, внешний вид и общую степень прожарки куриной грудки по 10-балльной шкале. Полученные отзывы затем сопоставили с результатами анализа с целью проверки соответствия между аналитическими данными и результатами субъективного восприятия.

Исследователи жарили курицу на гриле прямо около своей Лаборатории, а в качестве тестовой площадки использовали столовую Сколтеха.

Исследователи отмечают, что их система успешно справилась с задачей распознавания основных степеней прожарки («не дожарено», «прожарено», «пережарено»), поэтому ее в принципе можно использовать для целей автоматизации контроля качества пищи на пищевых производствах. Авторы также отмечают, что для приготовления других частей курицы, например, ножек или крыльев, или использования другого способа приготовления потребуется переобучение электронных «глаз» и «носа» на новых данных.

Ученые планируют протестировать свои сенсоры в реальных условиях на ресторанных кухнях. Еще одним возможным применением нового датчика может стать распознавание испорченного мяса на этапе, когда человеческое обоняние еще не способно уловить изменения в его запахе.

В принципесистемы могут использоваться как на промышленных пищевых производствах, так и на домашних кухнях, поскольку они позволяют определять степень готовности мяса в условиях, когда прямое измерение температуры невозможно или неэффективно.

Постерыдля дома, офиса, бара на сайте «Наука и техика» в подарок себе и близким.Недорогой сюрпризшефу, друзьям, клиентам и сотрудникам.

В наличииПлакаты бронетехники, набор постеровстрелкового оружия, боевой техники. Если вы неравнодушны к авиации, то вас, наверняка, заинтересуют постеры сбоевыми,транспортными или пассажирскими самолетами.

Новая разработка ученых Сколтеха: «электронный нос» и компьютерное зрение помогут определить готовность блюд

Исследователи Сколтеха придумали, как с помощью химических сенсоров и компьютерного зрения определить, правильно ли приготовлена, например, курица-гриль. Этим методом смогут воспользоваться повара ресторанов для контроля и автоматизации процессов приготовления пищи. Не исключено, что когда-нибудь такие функции появятся и в домашних «умных» духовках.

Как узнать, готова ли курица-гриль для подачи на стол? Самый простой и привычный для всех способ определить кулинарную готовность – внимательно посмотреть на блюдо и понюхать его. Однако если вы являетесь шеф-поваром в ресторане или на производстве, вы не сможете обеспечить стабильность результата и его соответствие потребительским требованиям, полагаясь только на свое зрение и обоняние. Именно поэтому предприятия ресторанно-гостиничного бизнеса в настоящее время ведут активный поиск экономичных, надежных и высокочувствительных инструментов, в которых на смену субъективной оценке придет автоматизированный контроль качества пищевых продуктов.

Описание результатов исследования опубликованов научном журнале Food Chemistry.

Итак, создан «электронный нос», представляющий собой набор сенсоров, с помощью которых можно регистрировать «профиль» запаха, чтобы «нюхать» курицу в процессе жарки, а также применили алгоритмы компьютерного зрения, чтобы на курицу «смотреть». «Электронный нос» проще и дешевле в эксплуатации, чем, например, дорогостоящий газовый хроматограф или масс-спектрометр. В предшествующих работах другие исследователи уже показали, что «электронный нос» умеет различать сыры по сортам и отбраковывать гнилые яблоки или бананы, а компьютерное зрение позволяет распознавать визуальные структуры, например, растрескавшееся печенье.

Результаты этого проекта и стали основой для эксперимента по составлению «карты» запахов курицы-гриль.

При определении кулинарной готовности полагаться только на «электронный нос» недостаточно, необходимо в дополнение к нему использовать компьютерное зрение. Оба эти инструмента в совокупности образуют так называемую «группу электронных экспертов». В работе участвовали специалисты CDISE, имеющие обширный опыт в области компьютерного зрения.

Исследователи решили объединить эти два способа, чтобы получить точный и бесконтактный метод определения степени готовности блюд. Для этой цели они выбрали популярное во всем мире куриное мясо и приобрели в одном из московских супермаркетов партию куриных грудок. В процессе приготовления курицы-гриль исследователи обучали свои инструменты оценивать и прогнозировать степень готовности блюда.

Исследователи разработали собственный дизайн «электронного носа», состоящий из восьми сенсоров для обнаружения дыма, алкоголя, угарного газа и других соединений, а также датчиков температуры и влажности воздуха. Затем «электронный нос» поместили в систему вентиляции. В процессе жарки курицу фотографировали, а полученную информацию подавали на вход алгоритмов, осуществляющего классификацию или поиск закономерностей в данных. Изменения в составе окружающей среды на разных стадиях процесса жарки также регистрировали при помощи анализа дифференциальной подвижности для измерения размера аэрозольных частиц и метода масс-спектрометрии.

Новая разработка ученых Сколтеха: «электронный нос» и компьютерное зрение помогут определить готовность блюд

Пожалуй, самой важной частью эксперимента стала «дегустация» с участием 16 аспирантов и исследователей, которых попросили оценить нежность, сочность, насыщенность вкуса, внешний вид и общую степень прожарки куриной грудки по 10-балльной шкале. Полученные отзывы затем сопоставили с результатами анализа с целью проверки соответствия между аналитическими данными и результатами субъективного восприятия.

Исследователи жарили курицу на гриле прямо около своей Лаборатории, а в качестве тестовой площадки использовали столовую Сколтеха.

Исследователи отмечают, что их система успешно справилась с задачей распознавания основных степеней прожарки («не дожарено», «прожарено», «пережарено»), поэтому ее в принципе можно использовать для целей автоматизации контроля качества пищи на пищевых производствах. Авторы также отмечают, что для приготовления других частей курицы, например, ножек или крыльев, или использования другого способа приготовления потребуется переобучение электронных «глаз» и «носа» на новых данных.

Ученые планируют протестировать свои сенсоры в реальных условиях на ресторанных кухнях. Еще одним возможным применением нового датчика может стать распознавание испорченного мяса на этапе, когда человеческое обоняние еще не способно уловить изменения в его запахе.

В принципесистемы могут использоваться как на промышленных пищевых производствах, так и на домашних кухнях, поскольку они позволяют определять степень готовности мяса в условиях, когда прямое измерение температуры невозможно или неэффективно.

Постерыдля дома, офиса, бара на сайте «Наука и техика» в подарок себе и близким.Недорогой сюрпризшефу, друзьям, клиентам и сотрудникам.

В наличииПлакаты бронетехники, набор постеровстрелкового оружия, боевой техники. Если вы неравнодушны к авиации, то вас, наверняка, заинтересуют постеры сбоевыми,транспортными или пассажирскими самолетами.

Водород VS электричество. Кто вызвал Маска на дуэль?

Водород VS электричество. Кто вызвал Маска на дуэль?

Baja 1000 — знаменитая гонка по бездорожью, с 1967 года проводимая в Мексике. Долгое время это мероприятие оставалось финальным испытанием на прочность для внедорожных автомобилей. Трасса длиной 1000 миль (около 1600 километров) тянется по камням, песчаным дюнам и крутым склонам полуострова Нижняя Калифорния.

В апреле 2020 года Илон Маск похвастался тем, что электромобиль Cybertruck сможет справиться с таким испытанием.«‎Мы работаем над улучшением пневматической подвески для лучшей проходимости в условиях бездорожья. Нужно надрать задницы на Baja 1000», —писал онв Twitter.

Водород VS электричество. Кто вызвал Маска на дуэль?

Очевидно, его заявление было воспринято как вызов. Джеймс Гликкенгауз (James Glickenhaus), глава компании-автопроизводителя Scuderia Cameron Glickenhausвызвал Маска на дуэль. На гонке Baja 2023 электромобиль Tesla Cybertruck должен будет соперничать с внедорожником на водородном двигателе Glickenhaus.

Это особенно острый вызов, учитывая предыдущие резкие высказывания Маска по поводу водородной технологии в целом.«Ты говорил, что водородная технология «ошеломительно глупа». Ты также упоминал, что Baja будет отличным тестом для возможностей Cybertruck. Мы отвечаем: “Приходи”», —написал Гликкенгаузу себя в Instagram

Автомобили Glickenhaus уже дважды принимали участие в гонке Baja 1000, а в прошлом году заняли на ней первое место. Так что Гликкенгауз вызывает Маска не просто так, а с позиции актуального чемпиона.

Также Гликкенгауз с издевкой предложил поставить на 1000-мильной трассе зарядные станции Cybertruck, отметив, что его машине одного бака водорода хватит на весь маршрут. Впрочем, у Маска все еще есть два с половиной года на то, чтобы повысить хода “Кибертрака” до заветной тысячи миль.

Постерыдля дома, офиса, бара на сайте «Наука и техика» в подарок себе и близким.Недорогой сюрпризшефу, друзьям, клиентам и сотрудникам.

В наличииПлакаты бронетехники, набор постеровстрелкового оружия, боевой техники. Если вы неравнодушны к авиации, то вас, наверняка, заинтересуют постеры сбоевыми,транспортными или пассажирскими самолетами.

Водород VS электричество. Кто вызвал Маска на дуэль?

Baja 1000 — знаменитая гонка по бездорожью, с 1967 года проводимая в Мексике. Долгое время это мероприятие оставалось финальным испытанием на прочность для внедорожных автомобилей. Трасса длиной 1000 миль (около 1600 километров) тянется по камням, песчаным дюнам и крутым склонам полуострова Нижняя Калифорния.

В апреле 2020 года Илон Маск похвастался тем, что электромобиль Cybertruck сможет справиться с таким испытанием.«‎Мы работаем над улучшением пневматической подвески для лучшей проходимости в условиях бездорожья. Нужно надрать задницы на Baja 1000», —писал онв Twitter.

Водород VS электричество. Кто вызвал Маска на дуэль?

Очевидно, его заявление было воспринято как вызов. Джеймс Гликкенгауз (James Glickenhaus), глава компании-автопроизводителя Scuderia Cameron Glickenhausвызвал Маска на дуэль. На гонке Baja 2023 электромобиль Tesla Cybertruck должен будет соперничать с внедорожником на водородном двигателе Glickenhaus.

Это особенно острый вызов, учитывая предыдущие резкие высказывания Маска по поводу водородной технологии в целом.«Ты говорил, что водородная технология «ошеломительно глупа». Ты также упоминал, что Baja будет отличным тестом для возможностей Cybertruck. Мы отвечаем: “Приходи”», —написал Гликкенгаузу себя в Instagram

Автомобили Glickenhaus уже дважды принимали участие в гонке Baja 1000, а в прошлом году заняли на ней первое место. Так что Гликкенгауз вызывает Маска не просто так, а с позиции актуального чемпиона.

Также Гликкенгауз с издевкой предложил поставить на 1000-мильной трассе зарядные станции Cybertruck, отметив, что его машине одного бака водорода хватит на весь маршрут. Впрочем, у Маска все еще есть два с половиной года на то, чтобы повысить хода “Кибертрака” до заветной тысячи миль.

Постерыдля дома, офиса, бара на сайте «Наука и техика» в подарок себе и близким.Недорогой сюрпризшефу, друзьям, клиентам и сотрудникам.

В наличииПлакаты бронетехники, набор постеровстрелкового оружия, боевой техники. Если вы неравнодушны к авиации, то вас, наверняка, заинтересуют постеры сбоевыми,транспортными или пассажирскими самолетами.

Добавить комментарий

Ваш адрес email не будет опубликован. Обязательные поля помечены *