Главная / Технологии / Imec показала, как можно выйти за рамки 3-нм техпроцесса и пойти дальше

Imec показала, как можно выйти за рамки 3-нм техпроцесса и пойти дальше

На форуме ITF USA 2019 бельгийский исследовательский центр Imec показал образец важной структуры чипа, выпущенного с использованием 3-нм норм производства. Тем самым разработанная для этого технология и техпроцессы обещают открыть путь к массовому производству как 3-нм чипов, так и решений с меньшими технологическими нормами. Техпроцесс выдерживает масштабирование и может отодвинуть финал действия закона Мура.

Условная структура транзистора на кристалле и сопутствующих элементов

Уточним, с техпроцессом с нормами 3 нм ассоциируется шаг металлических линий (проводников) шириной 21 нм. В данном случае 3 нм ― это размер минимально возможного расстояния между двумя линиями на кристалле, но другие топологические элементы на кристалле не могут и не обязаны быть соизмеримыми с максимально допустимым разрешением 3-нм проекции.

Опытную 3-нм структуру специалисты Imec последовательно изготавливали с использованием иммерсионной литографии с помощью 193-нм сканера и с помощью EVU-сканера с излучением 13,5 нм. Для 193-нм проекции с целью изготовления линий и траншей для заполнения металлами была задействованы технологии самостоятельно выравнивающихся масок (self-aligned quadrupole patterning, SAQP) с использованием четырёх масок (циклов проекции). Сканеры EUV «рисовали» блоки и структуры для сквозной (межслойной) металлизации. В целом задействованный Imec техпроцесс повторял основные шаги, свойственные изобретённому компанией IBM так называемому двойному дамасскому методу, когда иной металл вносился и проявлялся узором на базовой поверхности.

Imec сумел изготовить 3-нм слой M2 (металлический слой контактов в контактной структуре чипа)

Основной целью эксперимента Imec было показать, что с помощью разработанного 3-нм техпроцесса можно снижать размеры таких важных элементов, как сквозные и горизонтальные контакты в металлических слоях (слой Back-End-Of-Line ― это всё, что ниже кристалла и предназначено для передачи сигналов и питания от кристалла к монтажной плате). Без уменьшения размеров контактов нечего и мечтать об уменьшении площади кристаллов. Опытная структура Imec доказала, что контактный слой M2 можно уменьшить с кратностью 0,7 и, тем самым, соблюсти пропорции между уменьшением площади кристалла и сохранением требуемого числа контактов.

В качестве материала для заполнения углублений (траншей) в полупроводнике специалисты Imec использовали рутений (Ru) и диэлектрик со значением постоянной, равной 3.0. Как мы сообщали, медь плохо подходит для мельчающих техпроцессов и учёные вынуждены переходить на новые материалы для изготовления металлических проводников и контактов в чипах. Также новые материалы и рутений в частности позволяют обходиться без защитного диффузионного барьера вокруг металлических проводников. Например, медь без этого не может, иначе электромиграция атомов меди «отравит» близлежащие кремниевые структуры.

Изображение и данные измерения опытной 3-нм контактной структуры из рутения (Imec)

Измерение ёмкостных и резистивных характеристик опытной 3-нм структуры показали, что их характеристики улучшились на 30 % по сравнению с предыдущим поколением структур. Надёжность в отношении проявлений электромиграции также оказалась на высоте: после 530 часов нагрева температурой 330 °C признаков электромиграции не обнаружено. В свою очередь, измерение на диэлектрический пробой выявило надёжность структуры на уровне 10 лет при температуре 100 °C. С этим можно и нужно работать.

Смотрите также

AMD покупает конкурента

AMD покупает конкурента

Американский производитель чипов AMD купит своего конкурента Xilinx за $35 млрд,Сделка будет полностью оплачена акциями AMD, закрыть ее планируют в конце 2021 г.

По условиям соглашения, акционеры Xilinx получат 1,7234 акции AMD за каждую акцию Xilinx, это примерно $143 за бумагу. После завершения сделки, им будет принадлежать 26% объединенной компании, которая будет стоить $135 млрд.

Руководить объединенной компанией будет гендиректор AMD Лиза Су. Гендиректор Xilinx Виктор Пэн займет пост президента, отвечающего за бизнес Xilinx и инициативы по стратегическому росту. Кроме того, как минимум два кресла в совете директоров AMD займут выходцы из Xilinx.

AMD покупает конкурента

AMD — один из крупнейших производителей центральных процессоров, графических процессоров, материнских плат и чипсетов для них. В частности, компания разрабатывает чипсеты для новых игровых консолей Xbox Series X и PlayStation 5. Сделка с Xilinx позволит AMD усилить борьбу с Intel за долю рынка чипов, используемых в дата-центрах,отмечаетFinancial Times.

На рынке чипов в последние месяцы было совершено несколько крупных сделок, напоминает газета: NVIDIA объявила о покупке Arm за $40 млрд, Analog Devices — о покупке Maxim Integrated Products примерно за $20 млрд. Эта череда сделок вызвана стремлением крупных производителей чипов расширить свой бизнес, чтобы доминировать в секторе 5G и «интернета вещей», а также продолжающимся переходом IT-индустрии к облачным вычислениям.

AMD покупает конкурента

Американский производитель чипов AMD купит своего конкурента Xilinx за $35 млрд,Сделка будет полностью оплачена акциями AMD, закрыть ее планируют в конце 2021 г.

По условиям соглашения, акционеры Xilinx получат 1,7234 акции AMD за каждую акцию Xilinx, это примерно $143 за бумагу. После завершения сделки, им будет принадлежать 26% объединенной компании, которая будет стоить $135 млрд.

Руководить объединенной компанией будет гендиректор AMD Лиза Су. Гендиректор Xilinx Виктор Пэн займет пост президента, отвечающего за бизнес Xilinx и инициативы по стратегическому росту. Кроме того, как минимум два кресла в совете директоров AMD займут выходцы из Xilinx.

AMD покупает конкурента

AMD — один из крупнейших производителей центральных процессоров, графических процессоров, материнских плат и чипсетов для них. В частности, компания разрабатывает чипсеты для новых игровых консолей Xbox Series X и PlayStation 5. Сделка с Xilinx позволит AMD усилить борьбу с Intel за долю рынка чипов, используемых в дата-центрах,отмечаетFinancial Times.

На рынке чипов в последние месяцы было совершено несколько крупных сделок, напоминает газета: NVIDIA объявила о покупке Arm за $40 млрд, Analog Devices — о покупке Maxim Integrated Products примерно за $20 млрд. Эта череда сделок вызвана стремлением крупных производителей чипов расширить свой бизнес, чтобы доминировать в секторе 5G и «интернета вещей», а также продолжающимся переходом IT-индустрии к облачным вычислениям.

Apple разрабатывает свою альтернативу поисковику Google

Apple разрабатывает свою альтернативу поисковику Google

Google ежегодно выплачивает Apple от$8млрд до$12млрд вгод зато, что еёпоисковик устанавливается поумолчанию наiOS. Сделка стала одним изпредметов антимонопольного расследования,открытогоМинистерством юстиции США вотношении Google напрошлой неделе.

Apple активизировала разработку собственного поискового движка нафоне антимонопольного расследования американских властей вотношении Google,пишетFinancial Times.

Слухи отом, что уApple может появиться свой поисковик, появились вэтом августе: наэто указывало одно изизменений вiOS14. Компания начала выводить собственные поисковые результаты, анесгенерированные Google, идавать прямые ссылки насайты позапросам, заданным сдомашнего экрана iPhone.

Apple разрабатывает свою альтернативу поисковику Google

Кроме того, «яблочная» компания открыла вакансии посозданию «революционных поисковых технологий». 2,5 года назад Appleнанялакомпьютерного специалиста Джона Джаннандреа, который сейчас занимает пост старшего вице-президента поAI. Доэтого Джаннандреа восемь лет проработал вGoogle, втом числе над стратегиями применения искусственного интеллекта веёпоисковой системе.

Несколько дней назад New York Timesупоминал, что антимонопольное разбирательство США против Google может побудить Apple ускорить работу над фирменным поисковым сервисом.

Впоследние недели эксперты наблюдают повышенную активность веб-краулера Applebot. Это говорит отом, что компания собирает массивную базу интернет-страниц, необходимую для создания поисковика.Apple отказалась откомментариев.

Разработка домашней поисковой системы— вполне логичный шаг для Apple, которая предпочитает самостоятельно контролировать наиболее важные компоненты своих продуктов, отмечает издание. Уже больше десяти лет вкачестве поисковика наiPhone поумолчанию используется Google Search.

Apple разрабатывает свою альтернативу поисковику Google

В2014 году Googleплатилазаинтеграцию своего поискового движка вкачестве основного впродукты Apple $1млрд. Как сообщает NYT, в2017-м условия договорённости пересмотрели, аставки для Google завозможность быть поисковиком поумолчанию, втом числе наiPhone ивSiri, поднялись до$8-12млрд вгод.

Сделка наглядно иллюстрирует, что Google пытается незаконными методами сохранить свою монополию нарынке иподавить конкуренцию. Минюст утверждает, что гаджеты Apple дают около половины поискового трафика Google, накотором держится еёрекламный бизнес. Поэтому потерять такой крупный его источник для Google крайне нежелательно.

Apple разрабатывает свою альтернативу поисковику Google

Google ежегодно выплачивает Apple от$8млрд до$12млрд вгод зато, что еёпоисковик устанавливается поумолчанию наiOS. Сделка стала одним изпредметов антимонопольного расследования,открытогоМинистерством юстиции США вотношении Google напрошлой неделе.

Apple активизировала разработку собственного поискового движка нафоне антимонопольного расследования американских властей вотношении Google,пишетFinancial Times.

Слухи отом, что уApple может появиться свой поисковик, появились вэтом августе: наэто указывало одно изизменений вiOS14. Компания начала выводить собственные поисковые результаты, анесгенерированные Google, идавать прямые ссылки насайты позапросам, заданным сдомашнего экрана iPhone.

Apple разрабатывает свою альтернативу поисковику Google

Кроме того, «яблочная» компания открыла вакансии посозданию «революционных поисковых технологий». 2,5 года назад Appleнанялакомпьютерного специалиста Джона Джаннандреа, который сейчас занимает пост старшего вице-президента поAI. Доэтого Джаннандреа восемь лет проработал вGoogle, втом числе над стратегиями применения искусственного интеллекта веёпоисковой системе.

Несколько дней назад New York Timesупоминал, что антимонопольное разбирательство США против Google может побудить Apple ускорить работу над фирменным поисковым сервисом.

Впоследние недели эксперты наблюдают повышенную активность веб-краулера Applebot. Это говорит отом, что компания собирает массивную базу интернет-страниц, необходимую для создания поисковика.Apple отказалась откомментариев.

Разработка домашней поисковой системы— вполне логичный шаг для Apple, которая предпочитает самостоятельно контролировать наиболее важные компоненты своих продуктов, отмечает издание. Уже больше десяти лет вкачестве поисковика наiPhone поумолчанию используется Google Search.

Apple разрабатывает свою альтернативу поисковику Google

В2014 году Googleплатилазаинтеграцию своего поискового движка вкачестве основного впродукты Apple $1млрд. Как сообщает NYT, в2017-м условия договорённости пересмотрели, аставки для Google завозможность быть поисковиком поумолчанию, втом числе наiPhone ивSiri, поднялись до$8-12млрд вгод.

Сделка наглядно иллюстрирует, что Google пытается незаконными методами сохранить свою монополию нарынке иподавить конкуренцию. Минюст утверждает, что гаджеты Apple дают около половины поискового трафика Google, накотором держится еёрекламный бизнес. Поэтому потерять такой крупный его источник для Google крайне нежелательно.

Добавить комментарий

Ваш адрес email не будет опубликован. Обязательные поля помечены *